TRUNG TÂM DỊCH VỤ VÀ PHÂN PHỐI THIẾT BỊ KSI TẠI VIỆT NAM

DUOHEYI (VN) TECHNOLOGY COMPANY LIMITED là đại lý ủy quyền và trung tâm dịch vụ kỹ thuật chính thức của KSI tại Việt Nam, được ủy quyền bởi KSI CHINA LIMITED và IP-holding GmbH SAM Division (Đức).

Chúng tôi chịu trách nhiệm phân phối, hỗ trợ kỹ thuật, bảo trì và các dịch vụ liên quan đến hệ thống thiết bị KSI SAM tại thị trường Việt Nam.

KSI là nhà sản xuất lâu đời đến từ Đức, chuyên phát triển các hệ thống kiểm tra không phá hủy bằng siêu âm tần số cao cho ngành công nghiệp điện tử, vật liệu và bán dẫn.

CÔNG NGHỆ KÍNH HIỂN VI QUÉT SIÊU ÂM (SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPE – SAM)

Kính hiển vi quét siêu âm, thường được gọi tắt là SAM, trong thực tế cũng thường được gọi là C-SAM do chế độ hoạt động chính của thiết bị là chế độ C-Scan.

Trong các phòng thí nghiệm phân tích lỗi và kiểm tra chất lượng linh kiện điện tử, thiết bị này thường được gọi là C-SAM, tương tự như cách máy chụp bức xạ thường được gọi đơn giản là máy X-ray.

SAM là một hệ thống kiểm tra không phá hủy (NDT – Non-Destructive Testing) sử dụng sóng siêu âm tần số cao để phát hiện các khuyết tật bên trong vật liệu hoặc linh kiện.

LĨNH VỰC ỨNG DỤNG

NGÀNH CÔNG NGHIỆP ĐIỆN TỬ VÀ BÁN DẪN

• Wafer bán dẫn
• Linh kiện đóng gói IC
• Linh kiện công suất cao IGBT
• Linh kiện hồng ngoại
• Cảm biến quang điện tử
• Linh kiện SMT gắn bề mặt
• MEMS và các thiết bị vi cơ điện tử

CÔNG NGHIỆP VẬT LIỆU

• Vật liệu composite
• Lớp phủ và mạ điện
• Vật liệu ép phun
• Hợp kim kim loại
• Gốm kỹ thuật
• Vật liệu siêu dẫn
• Liên kết hàn và giao diện ma sát

LĨNH VỰC Y SINH

• Nghiên cứu động học tế bào sống
• Nghiên cứu cấu trúc xương và mạch máu

NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG

Kính hiển vi quét siêu âm hoạt động dựa trên hai chế độ chính:

CHẾ ĐỘ PHẢN XẠ (REFLECTION MODE)
Đây là chế độ hoạt động chính của hệ thống, có ưu điểm:

• Độ phân giải cao
• Không bị giới hạn bởi độ dày mẫu

CHẾ ĐỘ TRUYỀN DẪN (TRANSMISSION MODE)
Chế độ này thường được sử dụng trong các nhà máy sản xuất bán dẫn để sàng lọc và kiểm tra thiết bị.

Cốt lõi của hệ thống là BỘ CHUYỂN ĐỔI SIÊU ÂM (TRANSDUCER) sử dụng gốm áp điện.

Khi được kích thích bằng tín hiệu tần số vô tuyến, gốm áp điện sẽ tạo ra các xung siêu âm ngắn, sau đó được hội tụ thông qua thấu kính âm học và truyền tới mẫu kiểm tra.

Sóng siêu âm sẽ phản xạ lại khi gặp các giao diện trở kháng âm thanh như:

• Lỗ rỗng
• Bong tách
• Vết nứt
• Tạp chất bên trong vật liệu

Các tín hiệu phản xạ này sau đó được chuyển đổi thành tín hiệu điện và xử lý thành hình ảnh siêu âm, cho phép quan sát cấu trúc bên trong của mẫu.

ỨNG DỤNG TRONG PHÂN TÍCH LỖI

• Công nghệ SAM có thể phát hiện nhiều loại khuyết tật trong linh kiện bán dẫn và vật liệu, bao gồm:
• Bong tách giữa các lớp wafer
• Nứt bi hàn hoặc nứt chip
• Nứt vật liệu đóng gói
• Lỗ rỗng trong lớp keo hoặc vật liệu
• Sai lệch hoặc nghiêng wafer

ƯU ĐIỂM CỦA CÔNG NGHỆ SAM

• Kiểm tra không phá hủy cấu trúc bên trong của chip IC
• Khả năng quét nhiều lớp và phân tích đa lớp
• Hình ảnh trực quan phục vụ phân tích lỗi
• Có thể đo lường và thống kê diện tích khuyết tật
• Có khả năng tái tạo hình ảnh cấu trúc bên trong dạng 3D

An toàn với con người

Phát hiện được nhiều dạng khuyết tật khác nhau như nứt, bong tách, tạp chất, lỗ rỗng và sai lệch vật liệu